• 特點：可量測密閉空間定壓，補充微漏時之洩漏率
• 洩漏範圍：可任選量測範圍，0-500SCCM、0-500SLPM之間任選範圍
• 流量精度：1%FS
• 壓力精度：0.2%FS、0.1%FS、0.04%FS可選
• 工作流體：氣體或氮氣
• 使用溫度：0~50℃
• 測試條件客製化
• 不良品警示功能
• 可加選良品計數功能
• 可選購原廠軟體連接RS232做資料儲存

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