• MFS流量範圍：
  0 ~ ± 1.5μL/min水
  　 0 ~ ± 7μL/min水，0 ~ ± 70μL/min IPA
  　 0 ~ ± 80μL/min水，0 ~ ± 500μL/min IPA
  　 0 ~ ± 1ml/min水，0 ~ ± 10mL/min IPA
  　 0 ~ ± 5ml/min水
• 雙向流量(壓力或真空)
• 接頭：UNF 1/4-28
• 接液材質：PEEK

型錄

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