• 適合用於真空專用設備，標準1/4” VCR焊接接頭且能與SEMI標準氣體質量流量控制器實現端對端的匹配連接
• 量程廣，0.01–100% of FS (MCE系列)；1–100% of FS (MCES系列)
• 標準精度±(0.8%RD + 0.2% FS)或±0.6%RD or ±0.1% FS；另可選購高精度±(0.4%RD + 0.2% FS)或±0.5%RD or ±0.1% FS
• 標準數位介面RS-232或RS-485、Modbus RTU series，亦可選購Profibus、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP或Modbus TCP/IP
• 標準類比通訊0-5Vdc或4-20mA、0-10Vdc、1-5Vdc
• 體積/質量流量、壓力、溫度顯示all in one，且具背光功能，亦可選購TFT彩色螢幕
• 98~130種內校氣體(含32種腐蝕性氣體)，亦可自訂20組混合氣體，並自行定義混合氣體比例，每組可混合5種氣體
• 易操作，使用110V／220V電源，轉12-24Vdc，無需預熱，開機即用。可直接安裝於彎管前後，不需預留直管空間
• 可免費選購TOT流量累計功能、FLOWVISIONSC軟體
• 詢價時請提供進、出口操作壓力，以便為您挑選適合的閥門，達到最精準的控制效果

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