• 壓力範圍：1.5 x 10-5to 1 x 10-5PA
• 量測範圍：1 x 10-5to 1 x 10-21PA
• 管徑：6 mm
• 管長：140 ~ 300 mm
• PVD，CVD或其他等電漿技術應用
• 參考氣體：周圍空氣
• 精確度：< 5％讀值誤差
• 接口：KF40法蘭，或其他選購

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