上游控制的樣本計算：
維持壓力：10 TorrA
真空泵的抽速：每秒2升

所需流量：實際壓力÷標準壓力×pump抽速= 10 TorrA÷14.696 PSIA×2 l / s = 0.013×2 l / s = 1.6 SLPM

當設備在上游與單獨的氣體供應裝置連接以進行壓力控制時，我們不必處理擴大的體積流量。使用較小的控制閥，可以提高控制性能並減少系統中的潛在洩漏。

Alicat的真空控制器即使在快速變化的過程條件（例如不均勻的質量流量或溫度）下也能達到並保持設定點。 Alicat將協助您選擇合適的閥門和傳感器，以確保您的控制器提供快速穩定的運行。

真空沉積系統上游壓力控制

使用艾里卡特集成式真空控制器（IVC）代替下游節流閥和PID控制模塊，降低真空沉積系統成本。這種壓力控制器上游有控制閥門，並且內置電容薄膜真空傳感器，因此無需使用昂貴的外部真空計。

燃料電池膜測試

該系統用於提高固體氧化物燃料電池(SOFC)膜洩漏測試的可靠性、重複性和速度。

試驗是用氦氣進行的。 PCD系列雙閥絕壓和表壓壓力控制器取代手動壓力調節器。通過對管線壓力變化的自動調整，PCD系列雙閥絕壓和表壓壓力控制器引入了精確的壓力控制，在設備之間具有高度的可重複性。

採用微流量質量流量計(MFM)代替氣泡流量計。使用MFM可以自動補償由於管線壓力和溫度變化而造成的密度影響，這是氣泡流量計無法做到的。快速的10ms響應還允許在確定和隔離洩漏大小方面大大節省氣泡流量計系統的時間。

數據通信為PCD和MFM與一個單一的PC允許容易的自動化。該客戶使用直觀的Flow Vision™SC軟件來設計自動化的設定值測試，並自動存儲測試數據以供參考。