質量流量控制器（MFC, Mass Flow Controller）

質量流量控制器把流量感測器、比例控制閥與 PID 控制電路整合在一起，依設定值自動控制氣體流量。子嘉提供 Alicat 層流差壓式 MFC（反應時間快、內建多種氣體、可切換氣體不需重新校正）與熱式 MFC，涵蓋一般型、高壓型（MCQ）、真空製程用 VCR 接頭型（MCE）、附切斷閥的真空型（MCV）、OEM 機台用（BASIS）、防爆耐腐蝕型，以及耐腐蝕型（MCS）、大流量型（MCR）、雙向型（MCD）、雙氣源切換型（MCT）、SEMI 外形（SFF），量程從數 sccm 到數千 SLPM，通訊支援類比、RS-232／RS-485、Modbus、EtherCAT、EtherNet/IP 等。

選型說明：MFM／MFC 原理與選型　｜　sccm、SLPM 換算　｜　只需量測請見 質量流量計　｜　詢價 (02)2292-0001